1. 量測範圍 --  X 軸 － 50" (1250 mm), Y 軸 － 36" (900 mm).

2. 平臺材質 --  6" (150 mm) 花崗岩平臺及花崗岩龍門.

3. X/Y軸驅動方式 --  線性馬達 (Linear Motors) + 全氣浮軸承 (Air Bearings).

4. X/Y軸移動方式 --  搖桿 (Joystick) + 微調滑球 (Trackball).

5. X/Y軸移動速度 --  30" (760 mm)/sec. Max.

6. X/Y軸移動速度可快速、慢速切換.

7. 光學尺解析度 --  0.0001 mm (X/Y)

8 定位精度 --  ≦ +/- 10um (於量測範圍內任何位置).

9. 量測速度 --  ≦ 0.5 秒/點.

10. 最小移動量 --  0.0001 mm.

11. 量測功能 --  點、線 (線寬,線距)、圓 (圓心座標、半徑、直徑)、圓弧、距離、開口槽寬、角度、 槽形、不規則形等等之幾何量測.   量測步驟均可Repeat.

12. 程式編輯方式 --  Drill及Rout檔案轉換為程式、或量測時同步記錄、或量測完後將步驟轉換成程式.

13. 程式可編輯、修改、插入、刪除.

14.可載入CNC鑽孔(Drill)及成型(Rout)之DXF檔，編輯轉換做自動量測.

15. 全臺面 (量測範圍) NLEC 非線性誤差補償.