1. 量測範圍 --  X 軸 － 12" (300 mm), Y 軸 － 12" (300 mm), Z 軸 － 8" (200 mm).

2. 平臺材質 --  4" (100 mm) 花崗岩平臺及花崗岩龍門.

3. X/Y軸驅動方式 --  線性馬達 (Linear Motors) + 全氣浮軸承 (Air Bearings).

4. X/Y軸移動方式 --  搖桿 (Joystick) + 微調滑球 (Trackball).

5. X/Y軸移動速度 --  20" (500 mm)/sec. Max.

6. 光學尺解析度 --  0.0001 mm (X/Y/Z).  

7. 量測功能 --  點、線 (線寬,線距)、圓 (圓心坐标、半徑、直徑)、圓弧、距離、開口槽寬、角度、高度、槽形、不規則形等等之幾何量測.   量測步驟均可Repeat.

8. 程序可編輯、修改、插入、删除.

9. 可加載CNC 鑽孔(Drill)及成型(Rout)之DXF檔，編輯轉換做自動量測.

10. 可設定量測公差值，做 Pass 或 Fail 判定.

11. 全臺面 (量測範圍) NLEC 非線性誤差補償.

12. 量測速度 -- ≦ 0.5 秒/點.

13. 量測精度 --  1.5 + 5L/1000 um.   (L = 量測長度).